ASML 이야기

먼저 반도체의 핵심 프로세스중 하나는 노광공정임

이분과는 관련 없음

대충 이렇게 빛을 쏴서 반도체 회로를 깎아내는 공정인데

저 공정이 미세하면 할수록 성능좋은 반도체가 나오고

저 공정이 미세하려면 더 얇은 붓이 필요한것처럼 더 짧은 파장의 광원과 그걸 조절할 수 있는 기술이 필요함

그런데 1980년대, 다들 한 400nm단위에서 놀고있을때 키노시타 히로오가 응용물리학회에서 새로운 기술을 발표함

"짧아야된다고? X레이급 쓰면 되잖아"

X선급으로 짧은 파장을 조절할 수 있는 기술을 발표했음

무수한 개추와 댓글을 기대하고 발표를 했지만 반응이 매우 안좋았음

저걸 어케하노? 광원은 입자가속기가 필요하고 거울기술은 노짱이 살아돌아오는게 빠르겠노ㅋㅋ

딱히 틀린말도 아니였던게

거울도 자세히 보면 표면에 요철이 있을 수 밖에 없는데,

키노시타의 기술이 산업성이 있으려면 거울이 태평양만하다하면 수면의 파도가 10mm보다도 낮아야한다는 수준의 거울을 만들어야했음

또 입자가속기는 작아도 축구장만한걸 만들어야했고

이걸 각 기계마다 하나씩 붙여줘야했음

그리고 결정적으로

이런애들이 이미 기존의 노광기술로 돈을 잘 벌고있었기때문에 너무 실험적인 키노시타의 기술에 투자를 할 생각이 없었음

하지만 키노시타는 포기하지않고 연구했고

이내 인텔이 주도하는 질서의 EUV(Extreme UltraViolet) 컨소시엄에서 연구를 했고 미국 에너지부의 연구까지 붙어서 연구가 가속화됐음

참고로 일본에게 반도체 시장을 장악당했던 경험때문에 미국은 일본 기업의 참여를 철저히 배제시키고 당시 2인자였던 튤립파는 작은 나라의 회사를 끼워줬음

이에 2000년에 첫 실증기기를 만들어내는 쾌거까지 이루었지만

ㅅㅂ 돈을 엠창 ㅈㄴ게 부었는데 쓰지도 못하는게 나오네

장비 한대당 돈이 조단위로 들어갔는데도 산업성이 전혀 없는 수준의 생산성이었고

기존 기술도 많이 발전하면서 미국은 EUV기술에 대한 투자에서 손을 떼기 시작했음

얘네 빼고

EUV 기술에 대한 투자가 주춤하니까 망해가던 광원 기술 회사, 광학회사를 사들이고 계속 개발을 하기 시작함

여기에 기존 고객사들한테 투자 제안을 함(EUV 말고도 노광기술이 있는 회사니까)

연구 아직 멀었다 조단위로 필요한데 니네가 투자한만큼 나중에 공급해줄게

인텔은 1조원 가까이, TSMC와 삼성전자는 각각 3천억원정도를 투자해서 미래를 도약함

ASML이 망하면 공멸하는 수준의 투자였음

ASML은 렌즈광학기술은 자이스에게 맡기고 광원 기술을 깎아내기 시작했는데

이 광원기술은

물방울만한 주석(시진핑아님)을 초당 5만번씩 떨어트리고 그 방울을 레이저로 두번 쏴맞추는 기술임

더 설명할 필요없이 사실상 엄두도 못낼 기술이 돼버림

이후 고객사에게 납품까지 가능해진 ASML인데 정작 여기서

"아 근데 1세대 좀 냄새나는데;;"

1조를 투자한 인텔은 다음에 받겠다며 물량을 삼전, TSMC에게 넘기고

경영난에 허덕이던 중 ASML 지분을 팔기까지하면서 희대의 병신짓을 했고

어흐 이게 뭔떡이노 ㅋㅋ

예상치도 못한 첫 물건을 받은 삼전은

어떤 유명한 스마트폰에 첫 EUV기술을 사용한 프로세서를 탑재하게된다

views160comments16like
댓글 16
보니까 키노시타 히로오 저사람 이미 노벨물리학상 예정되어 있는 학자고 asml의 원천기술은 일본인이 만든거네ㅋㅋㅋ인류는 또다시 일본에게 빚을 졌다
ㅇㅇ •
일본이 보면 항상 새로운 기술 발명하는데 문화가 보수적이라 패러다임 주도 못하더라 지향성 안테나 일본인이 1925년에 발명했는데 일본군은 아무도 관심 안줬는데 영국에서 35년 레이더로 완성해버림 항공모함 최초로 도입해놓고도 전함에 매몰된것도 비슷
ㅇㅇ •
그 백인들에게 원천기술을 제공한게 갓본인임 이 나라가 아시아의 자랑이 아니라면 무어란 말인가
ㅇㅇ •
당시 상황을 정확히 짚어주셨습니다. 일본이 원천 아이디어(히로오 키노시타 박사)를 가지고 있었음에도 불구하고, **'실제 광원(Light Source)'**을 만들어내는 단계에서 미국에 뒤처진 이유는 단순히 돈 문제가 아니라 국방/에너지 기술의 격차 때문이었습니다.결론부터 말씀드리면, EUV 광원을 만드는 기술은 당시 '핵융합'이나 '핵무기' 연구 수준의 물리 기술이 필요했기 때문입니다.1. EUV 광원: "인공 태양"을 만드는 기술EUV(극자외선)는 자연계에 존재하지 않는 빛입니다. 이를 인위적으로 만들려면 주석(Tin) 방울에 고출력 레이저를 쏴서 섭씨 50만 도 이상의 '플라즈마' 상태를 만들어야 합니다
ㅁㅁ •
미국의 강점: 미국은 냉전 시대부터 핵무기 연구를 위해 로렌스 리버모어 국립연구소(LLNL) 등에서 플라즈마 물리학과 고출력 레이저 기술을 극비리에 연구해왔습니다.일본의 한계: 일본도 기초 과학은 뛰어났지만, 핵물리학과 연계된 고출력 플라즈마 제어 기술은 미국 국립연구소들의 '국가 기밀' 수준을 따라갈 수 없었습니다.2. "미국 국립연구소"라는 사기 캐릭터일본은 기업(니콘, 캐논) 위주로 연구를 진행했지만, 미국은 국가가 나섰습니다.연구 규모의 차이: 미국 에너지부(DOE) 산하의 국립연구소들은 수천 명의 박사급 인력과 거대 가속기, 슈퍼컴퓨터를 보유하고 있었습니다. 이들이 수십 년간 축적한 '빛을 다루는 기술'은 민간 기업인 니콘이 감당할 수 있는 수준이 아니었습니다.VNL(Virtual
ㅁㅁ •
하닉 보안 알바다닐때 본 협력 업체중 하나 asml 한미반도체 램리서치 ㅋㅋ 한미반도체는 20년도에 15000원에 사서 18000원에 팔고 그랬제.
ㅇㅇ •
키노시타 히로오 박사의 선구적 아이디어가 없었다면 지금의 AI 혁명도 없었을 것아아 인류에 대한 갓본의 은혜란..
ㅇㅇ •
짱개 저 노광장비 분해해서 다시 재조립해 기술 베끼려 하다가 작동을 안해서 본사에 as요청했다가 분해 재조립한거 들통 났잖아
ㅇㅇ •
전기차 혁명의 핵심인 리튬이온 배터리 만든것도 일본인, 디스플레이 혁명 청색 다이오드 만든것도 일본인, 디지털 시대 혁명인 qr코드 만든것도 일본인, ai시대의 혁명인 asml 노광장비 원천기술 아이디어 제공한것도 일본인....저분도 아마 후에 노벨과학상 분명 받을듯
ㅇㅇ •
대중방송 시대를 연 안테나를 발명한 것도 일본인, 교통혁명을 이끈 상용 고속철도를 발명한 것도 일본인
ㅇㅇ •
근데 삼성이 3,000억 ASML에 투자해서 ASML 주가 폭등해서 대박 났잖어. 그리고 삼성이 규모가 있는데 3,000억원 날렸다 해도 망할 회사는 아님
ㅇㅇ •
진짜 슈퍼을은 ASMLTSMC도 저 ASML 없으면 제품 생산도 못하고파운드리에 삼성이라는 대체제가 있지만노광장비는 대체제도 없어
ㅇㅇ •
'산업성'은 뭐여 '상업성'이라 써야지 문맥에 맞는 적절한 어휘를 써라 일본 사람 나오길래 '일본에 산업성이란 정부부처를 가리키는건가?'라고 헛갈렸네
DD •
산업성도 맞는 말 같은데 애초에 저때 기술로는 생산 장비가 개발 자체가 불가능한 수준이었으니까
2. •
사실은 반도체는 여러개의 독점이 모여있음 ASML기계도 독점기계 같지만 실상 기계 안에는 또다른 독점들이 계속 나옴. 폭포수처럼 흐르는 녹인 주석을 정확하게 조준사격하는 레이저 총은 독일 Trumpf회사 독점이고, 이 조준사격의 결과로 발생하는 EUV 빛을 반사시키는 거울은 독일 zeiss독점이고, 이 거울의 소재인 유리는 또 otto schott 독점이고, 이 EUV 빛을 1단계로 쪼이는 마스크(도화지)는 일본 Hoya라는 회사에서 독점이고, 그 마스크에 전자빔으로 회로도를 새겨넣는 기계는 IMS라는 오스트리아회사가 독점중임. 그리고 EUV빛을 마스크에 반사시킨 빛은 회로정보가 담겨있는데, 이걸 다시 zeiss의 브래그리플렉터라는 거울로 반사시켜서 웨이퍼로 보냄. 이때 웨이퍼 위에 빛에 잘 반응하도록 감
ㅇㅇ •
아이디어수준이라고 까는 댓글 있는데 , 일상에서 알아보는 통찰력이 탈아시아급이라 대단한거지
ㅇㅇ •